(原标题:迈为股份取得旋转靶靶材TM自动调整机构及镀膜设备专利,实现对磁铁表面到旋转靶材表面距离的实时自动调整)
金融界2024年1月18日消息,据国家知识产权局公告,苏州迈为科技股份有限公司取得一项名为“一种旋转靶靶材TM自动调整机构及镀膜设备“,授权公告号CN220352230U,申请日期为2023年8月。
专利摘要显示,本申请公开了一种旋转靶靶材TM自动调整机构及镀膜设备,属于太阳能电池领域。该调整机构包括第一固定板、磁铁定位板、若干磁铁以及若干磁铁上下调整组件;第一固定板和磁铁定位板呈上下叠置设置;磁铁上下调整组件依次排列并设置在第一固定板和磁铁定位板之间;磁铁依次排列并设于磁铁定位板的下方;磁铁上下调整组件和磁铁一一对应;磁铁上下调整组件的上端与第一固定板连接,下端穿过磁铁定位板后与对应的磁铁连接,通过磁铁上下调整组件带动对应的磁铁上下移动。本申请可以对磁铁的位置进行实时自动调整,从而实现对磁铁表面到旋转靶材表面距离的实时自动调整,解决了现有技术中需破真空、阻断镀膜过程的缺陷问题。
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